Klíčové aplikace
Filtrace ultračisté vody (UPW)
Nezbytné v výroba polovodičů, kde i nejmenší částice mohou poškodit destičky.
Odstraňuje částice z ultračisté vody používané při čištění, oplachování a leptání.
Filtrace chemických procesů
Používá se v leptadla, pokovovací lázně a roztoky fotorezistů k odfiltrování nečistot.
Chrání citlivé elektronické součástky a zajišťuje konzistentní chemické reakce.
Filtrace plynu
Filtruje procesní plyny v systémy s řízenou atmosférou nebo systémy chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Zajišťuje rovnoměrný tok plynu a zabraňuje kontaminaci citlivé elektroniky.
Podpora membrán a filtrů
Působí jako nosná vrstva strukturální struktury pro membránové filtry v kapalinách a plynech.
Zabraňuje deformaci membrán pod vysokým tlakem a zároveň zachovává přesnou filtraci.
Aplikace pro čisté prostory a vytápění, větrání a klimatizaci
Zajišťuje předfiltraci nebo mezifiltraci v systémy pro úpravu vzduchu v čistých prostorách.
Pomáhá udržovat prostředí třídy ISO 1–5 regulací hladiny částic.
Výhody v elektronických aplikacích
Ultra přesná velikost pórů → filtrace submikronových částic.
Vysoká mechanická pevnost → odolává vysokým tlakům v chemických a plynových filtračních systémech.
Chemická a tepelná odolnost → kompatibilní s kyselinami, rozpouštědly a procesy za vysokých teplot.
Odolné a opakovaně použitelné → vhodné pro opakované cykly čištění a sterilizace.
Stabilní struktura → zabraňuje ucpávání a zajišťuje konzistentní průtoky.
V elektronický průmysl, slinutá kovová síťovina se široce používá pro filtrace ultračisté vody, filtrace chemických roztoků, čištění plynů a aplikace v čistých prostoráchJeho kombinace přesnost, pevnost a chemická odolnost zajišťuje nejvyšší kvalita a spolehlivost ve výrobě polovodičů, výrobě mikroelektroniky a dalších citlivých elektronických procesech.
